真空泵分类

一、前言

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真空泵的定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气，从而获得真空的器件或设备

凡是利用机械运动（转动或者滑动）以获得真空的泵，统称为机械真空泵

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真空区域的划分

根据《真空技术名词术语（GB3163-1982）》，真空区域划分如下：

真空度	真空划分
105 Pa ~ 102 Pa	低（粗）真空
102 Pa ~ 10-1 Pa	中真空
10-1 Pa ~ 10-5 Pa	高真空（HV）
< 10-5 Pa	超高真空（UHV）

根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，会使用不同类型的真空泵，根据各种真空工艺的需要，有时会将各种真空泵按照其性能要求组合起来，以机组型式应用。

二、真空泵的分类

真空泵分类思维导图如下：

三、名词解释

1、抽气速率（单位 L·S^-1）

当泵装有标准试验罩并按照规定条件工作时，从试罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。

说人话就是：抽气速率表示了在一定的压力、温度条件下，真空泵在单位时间内，从被抽的容器内抽走多少体积的气体的能力。

2、极限压力

真空泵入口端经过充分抽气后能达到的最低、最稳定的压力

3、起动压力

泵无损坏启动，并有抽气作用的压力

4、前级压力

排气压力低于一个大气压的真空泵的出口压力

5、压缩比

泵对给定气体的出压力与入压力之比

6、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵 。

6.1 油泵

利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙 ，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵 。

6.2 干泵

它是一种泵内不用油类 (或液体)密封的变容真空泵。

由于干泵腔内不需要工作液体，因此其通常适用于半导体行业、化工、制药等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

6.3 罗茨真空泵

泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

7、动量传输泵

7.1分子真空泵

• 利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子；
• 使气体分子获得定向速度；
• 气体分子获得定向速度后，被压缩并驱向排气口；
• 由前级抽走。

7.11 牵引分子泵

气体分子与告诉运动的转子相互碰撞进而获得动量

7.12 涡轮分子泵

靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现抽气

7.2 油扩散泵

靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的。