罗茨真空泵

一、概述

• 罗茨泵是一种旋转式变容真空泵，其结构形式由罗茨鼓风机演变而来。
• 适应压力范围：10~1000Pa
• 根据工作的压力范围可分为：直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（机械增压泵）；高真空多级罗茨泵
• 特点：①在较宽的工作范围内有较高的抽速；②转子具有良好的几何对称性，可实现较高转速；③腔内无需用油密封和润滑，减少油蒸汽对真空系统的污染；④泵腔内无压缩、无排气阀，结构简单；⑤压缩比较低，对氢气的抽气效果较差。

二、结构和原理

1、结构

罗茨泵的结构如下：

在泵腔内，有二个8字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之间 ，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此，罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空度

2、原理

由于转子的连续旋转，被抽气体从泵进气口吸入到下转子与泵壳之间的空间V₀内，吸气后V₀空间是全封闭状态。随着转子的转动，封闭的V₀空间与排气口相通，由于排气侧气体压力较高，引起一部分气体反冲过来，使V₀空间内的气体压力突然增高。当转子继续转动时，V₀空间内原来封入的气体连同反冲的气体一起被排向泵外。这时，上转子又从泵入口封入V₀体积的气体。由于泵的连续运转，使两个转子不停地形成封闭空间V₀，又不停地将封闭空间V₀内的气体排出泵外，从而实现了抽气的目的。

转子主轴旋转一周共排出四个V₀体积的气体。泵的理论抽速为：